پمپهای خلاء مکانیکی خشک، کاربردهای گستردهای دارند، عمدتاً در زمینههای زیر:
در فرآیند آمادهسازی پلی سیلیکون در سیستمهای{0}}رسوب بخار شیمیایی کم فشار (LPCVD)؛
در فرآیندهای اچینگ نیمه هادی. این فرآیندهای تولید اغلب شامل استفاده یا تولید گازهای خورنده و ذرات ساینده می شود.
در برخی از فرآیندهای تولید ذرات معین-خارج از صنعت نیمه هادی-که در آن ترکیب ذرات با روغن پمپ نامطلوب است و در عوض خروج آنها از پمپ مطلوب نیست. انواع خاصی از پمپ های خلاء مکانیکی خشک را می توان برای برآورده کردن این الزامات استفاده کرد.
در عملیات تقطیر، خشک کردن، گاززدایی و بستهبندی در صنایع شیمیایی، دارویی و غذایی، جایی که لازم است از آلودگی توسط حلالهای آلی جلوگیری شود، پمپهای خلاء خشک انتخاب مناسبی هستند.
مانند-پمپها (پمپهای زبر) در سیستمهای خلاء تمیز بدون روغن، برای جلوگیری از آلودگی روغن.
